Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники учебник
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумно...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Москва
Юрайт
2023
|
| Редактирование: | 2-е изд. |
| Серии: | Высшее образование
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://urait.ru/bcode/512208 https://urait.ru/book/cover/E5AE6F9D-BF68-4187-8D2D-9A82D6C14648 |