Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники учебник
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумно...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Юрайт
2023
|
| Edition: | 2-е изд. |
| Series: | Высшее образование
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://urait.ru/bcode/512208 https://urait.ru/book/cover/E5AE6F9D-BF68-4187-8D2D-9A82D6C14648 |