Технологические процессы в микро- и наноэлектронике Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологически...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=346720 https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg |
