Технологические процессы в микро- и наноэлектронике Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологически...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=346720 https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg |
| LEADER | 02625nam a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | zna1053392 | ||
| 006 | m o | ||
| 007 | cr | ||
| 008 | 231013d2019 RU s rus | ||
| 040 | |a RU |b rus |c RU |d Ru-ToGu | ||
| 080 | |a 621 | ||
| 084 | |a 3285 |2 rubbk | ||
| 084 | |a 11.03.01 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.03.02 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.03.03 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
| 100 | 1 | |a Родионов, Ю.А. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Технологические процессы в микро- и наноэлектронике |b Учебное пособие |c Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| 260 | 2 | |a Вологда |b Инфра-Инженерия |c 2019 | |
| 300 | |a 352 с. | ||
| 520 | |a Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов обучающихся по специальности 11.00.00 Электроника радиотехника и системы связи а также инженеров занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. | ||
| 650 | 1 | 0 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=346720 |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=346720 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1053 |f 1053392.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg |a znanium.com |d /cover/1053 |f 1053392.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg |
| 910 | |a ЭБС Знаниум | ||