Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства Учебное пособие
Рассмотрены математические модели которые описывают приборные полупроводниковые структуры технологические процессы их создания и программные средства обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 Электроника и наноэлектроника. Мож...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Электронная книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Красноярск
Сибирский федеральный университет
2020
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=379838 https://znanium.com/cover/1816/1816541.jpg |
