Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства Учебное пособие
Рассмотрены математические модели которые описывают приборные полупроводниковые структуры технологические процессы их создания и программные средства обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 Электроника и наноэлектроника. Мож...
Главный автор: | |
---|---|
Другие авторы: | , |
Формат: | Электронная книга |
Язык: | Russian |
Публикация: |
Красноярск
Сибирский федеральный университет
2020
|
Предметы: | |
Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=379838 https://znanium.com/cover/1816/1816541.jpg |
LEADER | 02316nam a2200253 i 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | zna1816541 | ||
006 | m o | ||
007 | cr | ||
008 | 210630d2021 RU s rus | ||
040 | |a RU |b rus |c RU |d Ru-ToGu | ||
080 | |a 621 | ||
084 | |a 3288 |2 rubbk | ||
084 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
100 | 1 | |a Левицкий, А.А. | |
245 | 1 | 0 | |a Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства |b Учебное пособие |c Сибирский федеральный университет |
260 | 2 | |a Красноярск |b Сибирский федеральный университет |c 2020 | |
300 | |a 68 с. | ||
520 | |a Рассмотрены математические модели которые описывают приборные полупроводниковые структуры технологические процессы их создания и программные средства обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 Электроника и наноэлектроника. Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 Электроника радиотехника и системы связи. | ||
650 | 1 | 0 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |
700 | 1 | |a Маринушкин, П.С. | |
700 | 1 | |a Трегубов, С.И. | |
856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=379838 |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=379838 | |
856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1816 |f 1816541.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1816/1816541.jpg |a znanium.com |d /cover/1816 |f 1816541.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1816/1816541.jpg |
910 | |a ЭБС Знаниум |