Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники свойства химических элементов и их соединений основные технологические процессы микро- и наноэлектроники основные виды нанотехнологий и их изделий а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=434812 https://znanium.com/cover/2102/2102045.jpg |
