Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники свойства химических элементов и их соединений основные технологические процессы микро- и наноэлектроники основные виды нанотехнологий и их изделий а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | , , , |
Format: | eBook |
Language: | Russian |
Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
Subjects: | |
Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=434812 https://znanium.com/cover/2102/2102045.jpg |
Summary: | Рассматриваются история и технологические основы электроники свойства химических элементов и их соединений основные технологические процессы микро- и наноэлектроники основные виды нанотехнологий и их изделий а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 Радиоэлектроника 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств 11.03.04 Электроника и наноэлектроника а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей. |
---|---|
Physical Description: | 352 с. |