Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия. Часть 1 Учебное пособие
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=88350 https://znanium.com/cover/0546/546601.jpg |
