АНАЛИЗ ПУТЕЙ РАЗВИТИЯ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ: ОБЗОРЫ ПО ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ. СЕРИЯ 7"ТЕХНОЛОГИЯ, ОРГАНИЗАЦИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ"ВЫП. 13(565)....

по Ашинов, С. А., Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, Деулин, Е. А.
Публикация 1978