АНАЛИЗ ПУТЕЙ РАЗВИТИЯ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ: ОБЗОРЫ ПО ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ. СЕРИЯ 7"ТЕХНОЛОГИЯ, ОРГАНИЗАЦИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ"ВЫП. 13(565)....

by Ашинов, С. А., Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, Деулин, Е. А.
Published 1978

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/

by Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, Ельчанинов, Е. И. Евгений Иванович, Мелехин, Ю. И. Юрий Яковлевич, Панкратов, Л. М. Лев Михайлович
Published 1969