Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/

по Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, Ельчанинов, Е. И. Евгений Иванович, Мелехин, Ю. И. Юрий Яковлевич, Панкратов, Л. М. Лев Михайлович
Публикация 1969