Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения

На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 7. С. 26-34
Главный автор: Савостиков, Виктор Михайлович
Другие авторы: Потекаев, Александр Иванович 1951-, Табаченко, Анатолий Никитович 1946-2017
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139795
Описание
Итог:На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора с накаливаемым катодом, дуомагнетрона с двумя распыляемыми мишенями и двумя электродуговыми испарителями. Расширение функциональных возможностей обеспечивается применением оригинальных многоэлементных и многофазных катодных мишеней в виде соединений по типу боридов, карбидов, силицидов, сульфидов металлов, изготавливаемых СВС-методом с одновременным компактированием. Изменение состава, структуры и физико-механических свойств по сечению градиентно-слоистых поверхностных слоев и покрытий обеспечивается целенаправленным изменением очередности распыляемых катодных мишеней плазменных источников, соотношением интенсивностей плазменных рабочих потоков и варьированием энергии прибывающих на подложку частиц, определяемой значением ускоряющего потенциала на подложке.
Библиография:Библиогр.: 38 назв.
ISSN:0021-3411