Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения
На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 7. С. 26-34 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139795 |