Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N

Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti–Hf–Si–N c высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа: POP, ВИМС, хромато-масс-спектрометрии, РЭМ c энергодисперсной рентгеновской спектроскопией, дифракционного рентгеновского ан...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 11. С. 38-45
Другие авторы:	Погребняк, Александр Дмитриевич, Береснев, Вячеслав Мартынович, Шпак, Анатолий Петрович, Конарский, Петр, Комаров, Фадей Фадеевич, Кирик, Григорий Васильевич, Махмудов, Немат А., Колесников, Дмитрий Александрович, Углов, Владимир Васильевич, Соболь, Олег Валентинович, Каверин, Михаил Валерьевич, Грудницкий, Владимир Владимирович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	сверхтвердые двухфазные наноструктурные покрытия модуль упругости коэффициент трения элементный состав стехиометрия статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140027