Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия
Представлены результаты исследования вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур металл - оксид - полупроводник на основе GaxOy/GaAs, полученных методом термического испарения. Установлено влияние температуры отжига на характеристики структур. Обнаружено, что при длительном хранении в ко...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 6. С. 3-6 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141259 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02471nab a2200361 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001141259 | ||
| 005 | 20241023122706.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240618|2016 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001141259 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия |c В. М. Калыгина, Ю. С. Петрова, И. А. Прудаев, О. П. Толбанов |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 8 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Представлены результаты исследования вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур металл - оксид - полупроводник на основе GaxOy/GaAs, полученных методом термического испарения. Установлено влияние температуры отжига на характеристики структур. Обнаружено, что при длительном хранении в комнатной атмосфере структуры не меняют своих свойств, что проявляется в стабильности электрических характеристик. | |
| 653 | |a арсенид галлия | ||
| 653 | |a оксид галлия | ||
| 653 | |a МОП-структуры | ||
| 653 | |a вольт-фарадные характеристики | ||
| 653 | |a вольт-сименсные характеристики | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 965662 | |
| 700 | 1 | |a Калыгина, Вера Михайловна |9 74707 | |
| 700 | 1 | |a Петрова, Юлианна Сергеевна |9 89199 | |
| 700 | 1 | |a Прудаев, Илья Анатольевич |9 81475 | |
| 700 | 1 | |a Толбанов, Олег Петрович |9 67379 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2016 |g Т. 59, № 6. С. 3-6 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141259 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1141259 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1141259 |d 1141259 | ||