Микроструктура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 100-107 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144063 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Итог: | Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально возрастают во время импульса и достигают пиковых значений, которые на порядок величины превосходят аналогичные характеристики при распылении на постоянном токе. Высокий уровень ионизации распыленных частиц обусловил существенное увеличение количества ионов в потоке частиц, осаждаемых на подложку. Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущих покрытий обеспечило подавление роста столбчатых зерен и формирование более плотной и однородной микроструктуры, что позволило улучшить их механические характеристики. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: 20 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |
| Доступ: | Ограниченный доступ |