LEADER 01781naa a2200325 c 4500
001 koha001151571
005 20250214121625.0
007 cr |
008 250210s2024 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001151571 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
100 1 |a Кукенов, Олжас Игоревич  |9 564215 
245 1 0 |a Определение зависимости длины диффузии атомов Si на поверхности при гомоэпитаксиальном росте на Si(100)  |c О. И. Кукенов, В. В. Дирко, К. А. Майер 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 1 назв. 
653 |a кремний 
653 |a гомоэпитаксиальный рост 
653 |a диффузия атомов 
653 |a экспериментальные исследования 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Дирко, Владимир Владиславович  |9 473120 
700 1 |a Майер, Ксения Александровна  |9 985291 
773 0 |t Материалы и технологии фотоники, электроники и нелинейной оптики : материалы всероссийской конференции с международным участием, 10-13 сентября 2024 г.  |d Томск, 2024  |g С. 52  |z 9785907890183  |w koha001149282 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001151571 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1151571 
908 |a статья 
999 |c 1151571  |d 1151571 
039 |b 100