Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17

Библиографическая информация
Главный автор: Зуза, Даниил Александрович
Корпоративные авторы: Институт сильноточной электроники (Томск), Томский государственный университет
Формат: Электронная книга
Язык:Russian
Публикация: Томск [б. и.] 2025
Предметы:
Online-ссылка:https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154172
Перейти в каталог НБ ТГУ