Технология литографических процессов [учебное пособие для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"]
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Москва
Московский государственный институт электроники и математики
2011
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551156/000551156.pdf Перейти в каталог НБ ТГУ |