Влияние температуры роста и отношения потоков As/Ga на электрофизические свойства слоев легированного кремнием, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низких температурах

Bibliographic Details
Published in:Современные проблемы физики и высокие технологии : материалы Международной конференции, посвященной 125-летию ТГУ, 75-летию СФТИ и 50-летию РФФ ТГУ (29 сентября - 4 октября 2003 г.) С. 90-91
Other Authors: Семягин, Борис Рэмович, Преображенский, Валерий Владимирович, Путято, Михаил Альбертович, Вилисова, Мария Дмитриевна, Лаврентьева, Людмила Германовна 1931-2008, Торопов, Сергей Евгеньевич
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ