Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии: учебно-методический комплекс/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Ульяновск:
УлГУ
2006
|
| Серии: | Коммерциализация наукоемких продуктов и технологий в сфере нанотехнологий
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НМБ СибГМУ |