Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Металлургия
1980
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 112 с. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 106-111 |