Пропуск в контексте
  • Язык
    • English
    • Русский

Расширенный поиск
  • Введение в фотолитографию:...
  • Цитировать
  • Печать
  • Запись для экспорта
    • Экспорт в RefWorks
    • Экспорт в EndNoteWeb
    • Экспорт в EndNote
  • Permanent link
Введение в фотолитографию: учебное издание/

Введение в фотолитографию: учебное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы: Боков, Ю. С. Юрий Сергеевич (Автор), Корсаков, В. С. Владимир Сергеевич (Автор), Лаврищев, В. П. Вадим Петрович (Редактор), Лубашевская, А. В. Аврора Васильевна (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Энергия 1977
Предметы:
УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ
ФОТОРЕЗИСТЫ
ФОТОШАБЛОНЫ
ГОЛОГРАФИЯ
АДГЕЗИЯ
ПОЛИМЕРЫ
РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТЫ
ИЗОБРАЖЕНИЯ
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Фонды
  • Описание
  • Похожие документы
  • Marc-запись

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

  • Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
    по: Пресс, Феликс Павлович
    Публикация: (1978)
  • Основы фотолитографии учебное пособие
    по: Гудымович, Е. Н.
    Публикация: (2013)
  • Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
    по: Григорьев Федор Иосифович
    Публикация: (2008)
  • Средства программно-аппаратного управления скоростным фотонаборным комплексом для изготовления фотошаблонов печатных плат. Спец.05.13.05-"Элементы и устр. выч. техн. и сист. упр.": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
    по: Донцов Геннадий Юрьевич
    Публикация: (1985)
  • Адгезионная прочность
    по: Басин, Вячеслав Ефимович
    Публикация: (1981)
|   Расширенный поиск   |   Советы для поиска   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Загрузка...