Введение в фотолитографию: учебное издание/
| Главные авторы: | Боков, Ю. С. Юрий Сергеевич (Автор), Корсаков, В. С. Владимир Сергеевич (Автор), Лаврищев, В. П. Вадим Петрович (Редактор), Лубашевская, А. В. Аврора Васильевна (Автор) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Энергия
1977
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
по: Пресс, Феликс Павлович
Публикация: (1978) -
Основы фотолитографии учебное пособие
по: Гудымович, Е. Н.
Публикация: (2013) -
Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
по: Григорьев Федор Иосифович
Публикация: (2008) -
Средства программно-аппаратного управления скоростным фотонаборным комплексом для изготовления фотошаблонов печатных плат. Спец.05.13.05-"Элементы и устр. выч. техн. и сист. упр.": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Донцов Геннадий Юрьевич
Публикация: (1985) -
Адгезионная прочность
по: Басин, Вячеслав Ефимович
Публикация: (1981)
