Технология СБИС: Учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Кагадей, В. А. (Автор)
Соавтор:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: ТУСУР 2007
Предметы:	учебные пособия микроэлектроника технология СБИС ультрабольшие интегральные микросхемы полупроводниковые подложки субмикронная литография ионное легирование термический отжиг ионное травление плазмохимическое травление осаждение пленок планаризация рельефа межсоединения межуровневая разводка
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы