Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Автор)
Соавтор:	Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: Издательство ТУСУР 2000
Предметы:	плазменное распыление ионно-плазменные технологии СБИС учебные пособия производство травление тонкие пленки ионное осаждение
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Публикация: (2016)

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009)

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Публикация: (2011)

Технология СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
по: Битнер, Л. Р.
Публикация: (2010)

Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Gas sensitivity of IBSD deposited TiO2 thin films

Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Перспективные технологии производства СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна
Публикация: (2000)

Термическая стабильность структуры и оптических свойств наноструктурированных пленок TiO2

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1987)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
по: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Публикация: (2011)

Ионное травление микроструктур
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1979)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов

Исследование ионно-плазменных нитридных покрытий, полученных распылением композиционных порошковых катодов Ti-Al-Si

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Разработка тонкопленочного покрытия Nb2O5/SiO2 для зеркал резонатора параметрического генератора света на основе монокристалла ZnGeP2

Пучки распыляющих ионов: получение и применение: монография/
по: Семенов Александр Петрович
Публикация: (1999)

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005)

Multilayer antireflection optical coatings based on Nb, Si and Al oxides for nonlinear ZnGeP2 crystals

Лучевая прочность тонкопленочного покрытия Nb2O5/SiO2 для зеркал резонатора параметрического генератора света на основе монокристалла ZnGeP2

Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./
по: Смирнова, К. И.
Публикация: (1971)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
по: Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al.
Публикация: (1983)

Ion etching of HgCdTe: Properties, patterns and use as a method for defect studies

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Публикация: (1994)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
по: Берлин, Евгений Владимирович
Публикация: (2010)

Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Бурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич
Публикация: (1981)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
по: Галперин, Вячеслав Александрович
Публикация: (2010)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
по: Югов, Владимир Алексеевич
Публикация: (1964)

Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2011)

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ./
по: Толливер, Д. Л. Дональд, et al.
Публикация: (1987)

Электрофизические и оптические исследования дефектной структуры методом молекулярно-лучевой эпитаксии пленок CdHgTe