Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ./

Библиографическая информация
Главные авторы:	Толливер, Д. Л. Дональд (Автор), Новицки, Р. С. Рональд (Автор), Хесс, Д. У. Деннис (Автор), Горчика, Т. Б. (Автор), Горовитц, Б. Бернард (Автор)
Другие авторы:	Золотарев, Ю. М. (Переводчик), Юдин, В. В. (Переводчик), Машкова, Е. С. (Переводчик), Айнспрук, Н. Норман (Редактор), Браун, Д. М. Дейл (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Мир 1987
Предметы:	СБИС плазменная обработка производство
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Описание
Объем:	472 с.: а-ил.
Библиография:	Библиогр.: с. 7, 461-462. - Предм.-имен. указ.: с. 463-466

Похожие документы