Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ./

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ./

Bibliographic Details
Main Authors: Толливер, Д. Л. Дональд (Author), Новицки, Р. С. Рональд (Author), Хесс, Д. У. Деннис (Author), Горчика, Т. Б. (Author), Горовитц, Б. Бернард (Author)
Other Authors: Золотарев, Ю. М. (Translator), Юдин, В. В. (Translator), Машкова, Е. С. (Translator), Айнспрук, Н. Норман (Editor), Браун, Д. М. Дейл (Editor)
Format: Book
Published: М.: Мир 1987
Subjects:
СБИС
плазменная обработка
производство
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:472 с.: а-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 7, 461-462. - Предм.-имен. указ.: с. 463-466

Similar Items