Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ./

Библиографическая информация
Главные авторы: Толливер, Д. Л. Дональд (Автор), Новицки, Р. С. Рональд (Автор), Хесс, Д. У. Деннис (Автор), Горчика, Т. Б. (Автор), Горовитц, Б. Бернард (Автор)
Другие авторы: Золотарев, Ю. М. (Переводчик), Юдин, В. В. (Переводчик), Машкова, Е. С. (Переводчик), Айнспрук, Н. Норман (Редактор), Браун, Д. М. Дейл (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Мир 1987
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы