Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
1981
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |