Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.. Т. 2/Н. В. Василенко, Е. Н. Иванов, Л. К. Ковалев ; ред. : Л. К. Ковалев, Н. В. Василенко
| Главные авторы: | Василенко, Н. В. Николай Васильевич (Редактор), Иванов, Е. Н. Евгений Николаевич (Автор), Ковалев, Л. К. Лев Кузьмич (Редактор) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Красноярск:
Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии
1996
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т..
по: Василенко, Н. В. Николай Васильевич, et al.
Публикация: (1995) -
Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Публикация: (1969) -
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн..
по: Минайчев, В. Е. Виктор Егорович
Публикация: (1989) -
Вакуумное нанесение тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1967) -
Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1972)
