Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Лапидус, И. И. Илья Иосифович (Автор), Орион, Б. В. Борис Валентинович (Автор), Кожитов, Л. В. Лев Васильевич (Автор), Аникин, В. К. Виктор Константинович (Автор), Скворцов, И. М. Игорь Михайлович (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Энергия 1978
Предметы:	технология кремний германий газовая эпитаксия
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Описание
Объем:	133[3] с.: а-ил
Библиография:	Библиогр.: с. 129-134

Похожие документы