Тонкие плёнки в микроэлектронике: (Физика твёрдого тела): Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/

Библиографическая информация
Главный автор: Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор)
Соавтор: Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТУСУР 2003
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР