Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/

Bibliographic Details
Main Authors:	Симонов, В. В. Владимир Валентинович (Author), Корнилов, Л. А. Лев Александрович (Author), Шешелев, А. В. Алексей Васильевич (Author), Шокин, Е. В. Евгений Викторович (Author)
Format:	Book
Published:	М.: Радио и связь 1988
Subjects:	ионная имплантация имплантация обоснование
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items