LEADER 01647nam a2200289 i 4500
001 LibTUSUR0000033578
008 060815s1988 ru_a l000 0yrus d
020 |a 5256000071 
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Оборудование ионной имплантации:   |b производственно-практическое издание/  |c В. В. Симонов [и др.] 
260 |a М.:  |b Радио и связь  |c 1988 
300 |a 182[2] с.:  |b a-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 179-181 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ионная имплантация 
653 0 |a имплантация 
653 0 |a обоснование 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.7  |i О-224  |p 244622  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.7  |i О-224  |p 244623  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.7  |i О-224  |p 244624  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.7  |i О-224  |p 244625  |b счз1 
080 |a 621.793.184.06 
700 1 |a Симонов, В. В.  |q Владимир Валентинович  |4 aut 
700 1 |a Корнилов, Л. А.  |q Лев Александрович  |4 aut 
700 1 |a Шешелев, А. В.  |q Алексей Васильевич  |4 aut 
700 1 |a Шокин, Е. В.  |q Евгений Викторович  |4 aut 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.7/О-224-857800