Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Симонов, В. В. Владимир Валентинович (Автор), Корнилов, Л. А. Лев Александрович (Автор), Шешелев, А. В. Алексей Васильевич (Автор), Шокин, Е. В. Евгений Викторович (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Радио и связь 1988
Предметы:	ионная имплантация имплантация обоснование
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы