Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Сазонов, А. А. Александр Афанасьевич (Редактор), Корнилов, Р. В. Ростислав Васильевич (Автор), Кохан, Н. П. Николай Петрович (Автор), Лукичев, А. Ю. Александр Юльевич (Автор), Осокин, В. И. Вячеслав Иванович (Автор), Таран, В. А. Валентин Анатольевич (Автор), Федукин , В. А. Владимир Александрович (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Высшая школа 1991
Предметы:	микроэлектроника АСУТП учебные пособия
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы