Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/
| Главные авторы: | Сазонов, А. А. Александр Афанасьевич (Редактор), Корнилов, Р. В. Ростислав Васильевич (Автор), Кохан, Н. П. Николай Петрович (Автор), Лукичев, А. Ю. Александр Юльевич (Автор), Осокин, В. И. Вячеслав Иванович (Автор), Таран, В. А. Валентин Анатольевич (Автор), Федукин , В. А. Владимир Александрович (Автор) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Высшая школа
1991
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Учебное пособие для приборостроит. спец. вузов
Публикация: (1991) -
Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов/
по: Марголин, В. И. Владимир Игоревич, et al.
Публикация: (2008) -
Основы микроэлектроники: Учебник для техникумов/
по: Игумнов, Д. В. Дмитрий Васильевич, et al.
Публикация: (1991) -
Проблемы микроэлектроники: Сборник научных трудов/
Публикация: (1991) -
Основы микроэлектроники: Учебник для вузов/
по: Ефимов, И. Е. Иван Ефимович, et al.
Публикация: (1983)
