Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич (Автор), Ельчанинов, Е. И. Евгений Иванович (Автор), Мелехин, Ю. И. Юрий Яковлевич (Автор), Панкратов, Л. М. Лев Михайлович (Автор)
Соавтор: Министерство электронной промышленности СССР(М.)
Формат: Книга
Публикация: М.: Электроника 1969
Серии:Справочные материалы по электронной технике; Вып. 1(7)
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР