Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич (Автор), Ельчанинов, Е. И. Евгений Иванович (Автор), Мелехин, Ю. И. Юрий Яковлевич (Автор), Панкратов, Л. М. Лев Михайлович (Автор)
Соавтор: Министерство электронной промышленности СССР(М.)
Формат: Книга
Публикация: М.: Электроника 1969
Серии:Справочные материалы по электронной технике; Вып. 1(7)
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01641nam a2200253 i 4500
001 LibTUSUR0000033713
008 060815u1969 ru_a f l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок:   |b справочное издание/  |c И. Г. Блинов [и др.]; Министерство электронной промышленности СССР (М.) 
260 |a М.:  |b Электроника  |c 1969 
300 |a 108 с.:  |b a-ил. 
440 0 |a Справочные материалы по электронной технике;   |v Вып. 1(7) 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ 
653 0 |a НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК 
653 0 |a СПРАВОЧНИКИ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.5  |i В 148  |p 103729  |b аунл 
080 |a 621.52:539.216.2 
700 1 |a Блинов, И. Г.  |q Иван Григорьевич  |4 aut 
700 1 |a Ельчанинов, Е. И.  |q Евгений Иванович  |4 aut 
700 1 |a Мелехин, Ю. И.  |q Юрий Яковлевич  |4 aut 
700 1 |a Панкратов, Л. М.  |q Лев Михайлович  |4 aut 
710 2 1 |a Министерство электронной промышленности СССР(М.) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.5/В 148-298666