Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
| Main Authors: | Блинов, И. Г. Иван Григорьевич (Author), Ельчанинов, Е. И. Евгений Иванович (Author), Мелехин, Ю. И. Юрий Яковлевич (Author), Панкратов, Л. М. Лев Михайлович (Author) |
|---|---|
| Corporate Author: | Министерство электронной промышленности СССР(М.) |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Электроника
1969
|
| Series: | Справочные материалы по электронной технике;
Вып. 1(7) |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
by: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Published: (1989) -
Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объекте: научное издание/
by: Бубнов, Ю. З., et al.
Published: (1975) -
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин, Евгений Владимирович
Published: (2014) -
Физика металлических пленок размерные и структурные эффекты
by: Комник, Юрий Федорович
Published: (1979) -
Микроструктурирование тонких пленок
Published: (1991)
