Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
| Главные авторы: | Блинов, И. Г. Иван Григорьевич (Автор), Ельчанинов, Е. И. Евгений Иванович (Автор), Мелехин, Ю. И. Юрий Яковлевич (Автор), Панкратов, Л. М. Лев Михайлович (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Министерство электронной промышленности СССР(М.) |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Электроника
1969
|
| Серии: | Справочные материалы по электронной технике;
Вып. 1(7) |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1989) -
Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объекте: научное издание/
по: Бубнов, Ю. З., et al.
Публикация: (1975) -
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин, Евгений Владимирович
Публикация: (2014) -
Микроструктурирование тонких пленок
Публикация: (1991) -
Физика металлических пленок размерные и структурные эффекты
по: Комник, Юрий Федорович
Публикация: (1979)
