Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/

Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/

Bibliographic Details
Main Authors: Александров, Л. Н. Леонид Наумович (Author), Бочкова, Р. В. Раиса Васильевна (Author), Коган, А. Н. Алла Нахмановна (Author), Тихонова, Н. П. Нина Петровна (Author)
Corporate Author: Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников
Other Authors: Стенин, С. И. (Editor)
Format: Book
Published: Новосибирск: Наука 1991
Subjects:
полупроводниковые пленки
моделирование
легирование
Монте-Карло метод
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Similar Items