Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/

Библиографическая информация
Главные авторы: Александров, Л. Н. Леонид Наумович (Автор), Бочкова, Р. В. Раиса Васильевна (Автор), Коган, А. Н. Алла Нахмановна (Автор), Тихонова, Н. П. Нина Петровна (Автор)
Соавтор: Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников
Другие авторы: Стенин, С. И. (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: Новосибирск: Наука 1991
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы