Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Кагадей, В. А. Валерий Алексеевич (Автор), Анищенко, Е. В. Екатерина Валентиновна (Автор)
Соавтор:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск: ТУСУР 2015
Редактирование:	2-е изд.
Предметы:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МУРА ЗАКОН ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ ГЕТТЕРИРОВАНИЕ СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКИ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2011)

Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2020)

Технология СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)

Физические основы микротехнологии
по: Броудай, Ивор
Публикация: (1985)

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание/
по: Валиев, К. А. Камиль Ахметович, et al.
Публикация: (1984)

Проблемы микроэлектронной технологии Сборник статей
Публикация: (1994)

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И., et al.
Публикация: (2010)

Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС
по: Красников, Геннадий Яковлевич 1958-
Публикация: (1999)

Физические основы микротехнологии: Пер. с англ./
по: Броудай Ивор, et al.
Публикация: (1985)

Технологические процессы микроэлектроники: Учебное пособие/
по: Романовский, М. Н. Михаил Николаевич
Публикация: (2002)

Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/
по: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Публикация: (2006)

Физика субмикронной литографии: научное издание/
по: Валиев Камиль Ахметович
Публикация: (1990)

Проблемы субмикронной технологии Сборник статей
Публикация: (1993)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./
по: Королев, М. А. Михаил Александрович, et al.
Публикация: (2010)

Технология микроэлектронных устройств: Справочник/
по: Готра, З. Ю. Зенон Юрьевич
Публикация: (1991)

Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС
по: Красников, Геннадий Яковлевич 1958-
Публикация: (1999)

Ионное травление микроструктур
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1979)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
по: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Публикация: (2011)

Легирование полупроводников ионным внедрением: Сборник статей: перевод/
Публикация: (1971)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2000)

Ионное легирование полупроводников/
по: Зорин, Е. И. Евгений Иванович, et al.
Публикация: (1975)

Ионное легирование полупроводников. (Кремний и германий): Пер. с англ./
по: Мейер, Дж, et al.
Публикация: (1973)

Электронная промышленность научно-технический сборник : [журнал]
Публикация: (1970)

Сборник трудов. . .
Публикация: (1998)

Ионное травление микроструктур: научное издание/
по: Данилин Борис Степанович, et al.
Публикация: (1979)

Технология ионного легирования: Пер. с яп./
Публикация: (1974)

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
по: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Публикация: (2001)

Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)
Публикация: (1980)

Конструктивно-технологические решения для создания кварцевого чувствительного элемента акселерометра с повышенной температурной стабильностью нулевого сигнала: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 2.2.2/
по: Харламов, М. С. Максим Сергеевич
Публикация: (2022)

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
по: Битнер, Л. Р.
Публикация: (2010)

Background donor concentration in HgCdTe

Физические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
по: Парфенова, Е. Л. Елена Леонидовна, et al.
Публикация: (2012)

Исследование электрических характеристик транзисторных структур, изготоаленных по биполярной технологии с использованием геттерирования
по: Жолудев, Г. К.

Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"
по: Воротынцев, Владимир Михайлович
Публикация: (2018)

Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
по: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Публикация: (2020)

Приповерхностное протонно-ионное легирование оптических силикатных стекол Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.17.11
по: Иголинская, Марина Александровна
Публикация: (1995)

Современные технологии в микроэлектронике электронный курс
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2014)