Структура и свойства тонких пленок Zro2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/

Библиографическая информация
Главный автор: Шипилова, А. В. Анна Викторовна (Автор)
Соавтор: Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук(Томск)21 Институт электрофизики Уральского отделения РАН(Екатеринбург)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2018
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008716973?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР