Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Библиографическая информация
Главный автор: Юшков, Ю.Г. Юрий Георгиевич (Автор)
Другие авторы: Окс, Е. М. Ефим Михайлович
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2021
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР