Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2021
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
