Свойства тонких пленок титана (TiO2) и аморфного углерода (а-С), осажденных с помощью дуальной распылительной системы: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/

Bibliographic Details
Main Author: Юрьев, Ю. Н. Юрий Николаевич (Author)
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)21 Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"(М.)
Format: Book
Published: Томск 2016
Subjects:
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01006649775?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:22 с.: a-рис.