Свойства тонких пленок титана (TiO2) и аморфного углерода (а-С), осажденных с помощью дуальной распылительной системы: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01006649775?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 22 с.: a-рис. |
|---|
